用于处理微电子工件的系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210165024.3

申请日：

2009-05-05

公开(公告)号：

CN102683249B

公开(公告)日：

2012-09-19

发明(设计)人：

杰弗里·M·劳尔哈斯吉米·D·柯林斯特蕾西·A·加斯特艾伦·D·罗斯

申请人：

申请人地址：

美国明尼苏达州

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

余刚;吴孟秋

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101346527800 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012101650243 申请日:20090505
2012-09-19	公开	公开
2015-05-27	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715686538 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2012101650243 变更事项:申请人变更前权利人:FSI国际公司变更后权利人:泰尔FSI公司变更事项:地址变更前权利人:美国明尼苏达州变更后权利人:美国明尼苏达州登记生效日:20150508
2015-06-17	授权	授权

共 50 条

[1]

用于处理微电子工件的设备 [P].

J·D·柯林斯 ;

D·德科雷克 ;

T·A·加斯特 ;

A·D·罗斯 .

中国专利 :CN104319249B ,2015-01-28

[2]

用于处理微电子工件的设备和方法 [P].

J·D·柯林斯 ;

D·德科雷克 ;

T·A·加斯特 ;

A·D·罗斯 .

中国专利 :CN104299928B ,2015-01-21

[3]

用于处理微电子工件的设备和方法 [P].

J·D·柯林斯 ;

D·德科雷克 ;

T·A·加斯特 ;

A·D·罗斯 .

中国专利 :CN102569137B ,2012-07-11

[4]

微电子工件及用于使用所述工件制造微电子装置的方法 [P].

凯文·W·赫托 .

中国专利 :CN101627471A ,2010-01-13

[5]

用于控制微电子设备的处理的系统 [P].

于尔格·斯塔尔 .

德国专利 :CN121195335A ,2025-12-23

[6]

用于装卸微电子工件的机器人 [P].

韦恩·J·施密特 ;

托马斯·H·奥伯里特纳 .

中国专利 :CN1411420A ,2003-04-16

[7]

处理微电子工件的微环境反应器 [P].

加里·L·柯蒂斯 ;

雷蒙·F·汤普森 ;

斯蒂文·L·皮斯 .

中国专利 :CN1599025A ,2005-03-23

[8]

处理微电子工件的微环境反应器 [P].

加里·L·柯蒂斯 ;

雷蒙·F·汤普森 ;

斯蒂文·L·皮斯 .

中国专利 :CN1167518C ,2001-04-25

[9]

清洗用于处理微电子工件的工具中的工具表面的方法 [P].

马克·A·斯蒂耶尔 ;

戴维·德克拉克 .

中国专利 :CN102834911A ,2012-12-19

[10]

用于监测和控制微电子衬底的处理的系统 [P].

于尔格·斯塔尔 .

德国专利 :CN222672974U ,2025-03-25

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