一种溅射用铜镓合金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210587591.8

申请日：

2012-12-28

公开(公告)号：

CN103225066A

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

张云峰秦兴东王丹妮王连蒙刘延红陈东郭志峰陈丽杰

申请人：

申请人地址：

100011 北京市东城区安外西滨河路22号神华大厦

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C900 C22C2800 C22C3002 C22C102 B22D2704

代理机构：

北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012

代理人：

王昭林;鲁云博

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101511726610 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2012105875918 申请日:20121228
2013-07-31	公开	公开
2015-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种溅射用铜铟合金靶材及其制备方法 [P].

池君洲 ;

张云峰 ;

张晓煜 ;

赵飞燕 ;

王连蒙 ;

刘延红 ;

王丹妮 ;

秦兴东 ;

王珍 .

中国专利 :CN103114264A ,2013-05-22

[2]

铜镓合金溅射靶材的制备方法及靶材 [P].

孔伟华 .

中国专利 :CN109136635A ,2019-01-04

[3]

一种铜铟镓合金靶材的制备方法 [P].

宋伟杰 ;

杨晔 ;

许炜 .

中国专利 :CN106319469A ,2017-01-11

[4]

一种铜锡合金靶材及其制备方法 [P].

朱伟 .

中国专利 :CN116393700B ,2025-08-01

[5]

一种铜磷合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

孙明亮 ;

陆彤 ;

陈勇军 .

中国专利 :CN119433470A ,2025-02-14

[6]

一种从铜镓合金靶材中回收铜镓的装置 [P].

李康 ;

殷亮 ;

贺杰 ;

罗桂添 .

中国专利 :CN212560466U ,2021-02-19

[7]

一种从铜镓合金靶材中回收铜镓的装置和方法 [P].

李康 ;

殷亮 ;

贺杰 ;

罗桂添 .

中国专利 :CN111501070A ,2020-08-07

[8]

一种溅射平面银铜合金靶材及其制备方法 [P].

张信征 ;

曾墩风 ;

王津津 ;

后雨疏 .

中国专利 :CN119082676A ,2024-12-06

[9]

一种薄膜电池铜铟镓硒合金靶材的制备方法 [P].

刘保材 .

中国专利 :CN108893717A ,2018-11-27

[10]

靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材 [P].

大岩一彦 ;

姚科科 ;

广田二郎 ;

林智行 ;

山田浩 .

中国专利 :CN113373350B ,2021-09-10

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