一种铜磷合金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411361187.8

申请日：

2024-09-27

公开(公告)号：

CN119433470A

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

姚力军孙明亮陆彤陈勇军

申请人：

宁波江丰电子材料股份有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/34 C22F1/08

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

刘春青

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	公开	公开
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240927

共 50 条

[1]

一种铜锡合金靶材及其制备方法 [P].

朱伟 .

中国专利 :CN116393700B ,2025-08-01

[2]

一种合金高纯铜靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN113857402B ,2024-05-24

[3]

一种合金高纯铜靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

章丽娜 ;

罗明浩 .

中国专利 :CN113857402A ,2021-12-31

[4]

一种铌合金靶材及其制备方法 [P].

李桂鹏 ;

汪凯 ;

张国军 ;

吴红 ;

张春恒 ;

李兆博 ;

任萍 ;

任晓 ;

郭从喜 .

中国专利 :CN103866245A ,2014-06-18

[5]

铜磷合金及其制备方法 [P].

陶纪明 ;

朱显明 .

中国专利 :CN103757463B ,2014-04-30

[6]

高纯铜铝合金靶材及其制备方法 [P].

刘明翔 ;

李世政 ;

丁振卿 .

中国专利 :CN119753596A ,2025-04-04

[7]

一种溅射用铜镓合金靶材及其制备方法 [P].

张云峰 ;

秦兴东 ;

王丹妮 ;

王连蒙 ;

刘延红 ;

陈东 ;

郭志峰 ;

陈丽杰 .

中国专利 :CN103225066A ,2013-07-31

[8]

一种铜铝合金靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周敏 ;

陈勇军 ;

周友平 .

中国专利 :CN115341161A ,2022-11-15

[9]

一种溅射用铜铟合金靶材及其制备方法 [P].

池君洲 ;

张云峰 ;

张晓煜 ;

赵飞燕 ;

王连蒙 ;

刘延红 ;

王丹妮 ;

秦兴东 ;

王珍 .

中国专利 :CN103114264A ,2013-05-22

[10]

一种铜银合金靶材的制备方法 [P].

高岩 ;

贺昕 ;

庞欣 ;

熊晓东 ;

曾浩 ;

李勇军 ;

杨永刚 ;

陈明 ;

李建强 ;

冯昭伟 ;

刘晓 .

中国专利 :CN107937878A ,2018-04-20

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