一种带有凸起垒的多层抛光垫

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820194029.1

申请日：

2018-02-05

公开(公告)号：

CN207972375U

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

白林森梁莲芝

申请人：

申请人地址：

214412 江苏省无锡市新区硕放工业园

IPC主分类号：

B32B2708

IPC分类号：

B32B2734 B32B2740 B32B2730 B32B2706 B32B3300 B24D1100

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多层结构的抛光垫 [P].

张莉媛 ;

张美娟 ;

江天山 ;

张均海 ;

童文涛 .

中国专利 :CN210414071U ,2020-04-28

[2]

一种带主次凹槽的多层抛光垫 [P].

宋献礼 .

中国专利 :CN212794517U ,2021-03-26

[3]

一种带主次凹槽的多层抛光垫 [P].

白林森 ;

梁莲芝 .

中国专利 :CN207971815U ,2018-10-16

[4]

一种抛光垫、抛光装置 [P].

于长江 ;

王兆敏 ;

路朋 .

中国专利 :CN211465947U ,2020-09-11

[5]

一种带孔的抛光垫 [P].

白林森 ;

梁莲芝 .

中国专利 :CN208289665U ,2018-12-28

[6]

一种带有凸起结构的化学机械抛光垫 [P].

朱文献 .

中国专利 :CN211992444U ,2020-11-24

[7]

一种带有鱼鳞状凸起的化学机械抛光垫 [P].

朱文献 .

中国专利 :CN212071567U ,2020-12-04

[8]

一种晶片抛光用多层抛光垫 [P].

李加海 ;

谭鸿 .

中国专利 :CN214559983U ,2021-11-02

[9]

一种复合形多层抛光垫 [P].

李加海 ;

谭鸿 .

中国专利 :CN214560118U ,2021-11-02

[10]

一种多层抛光垫粘合机 [P].

查明怀 ;

方基国 ;

夏旭阳 .

中国专利 :CN220783485U ,2024-04-16

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