超高真空电子束蒸发器、电子束镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010458697.2

申请日：

2020-05-26

公开(公告)号：

CN111663105A

公开(公告)日：

2020-09-15

发明(设计)人：

吴向方

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号

IPC主分类号：

C23C1430

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268

代理人：

徐凯凯;谢松

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20200526
2020-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统 [P].

杨建 ;

王雪戈 ;

冯治华 .

中国专利 :CN223373199U ,2025-09-23

[2]

电子束蒸发镀膜装置 [P].

李萌萌 ;

黄添萍 ;

李兆营 .

中国专利 :CN118291927A ,2024-07-05

[3]

电子束蒸发器 [P].

王德苗 ;

任高潮 .

中国专利 :CN1042043C ,1995-09-27

[4]

电子束蒸发器 [P].

王德苗 ;

任高潮 .

中国专利 :CN2220475Y ,1996-02-21

[5]

电子束蒸发镀膜系统 [P].

艾金虎 .

中国专利 :CN214496458U ,2021-10-26

[6]

电子束蒸发镀膜设备 [P].

袁祖浩 ;

龚俊 ;

李勇 ;

张双景 ;

鲁彤 ;

李明 ;

王佳方 .

中国专利 :CN308435066S ,2024-01-23

[7]

电子束蒸发装置 [P].

G·马陶什 ;

H·弗拉斯克 ;

J·-S·利比格 ;

V·柯克霍夫 ;

J·-P·海因斯 ;

L·克洛斯 .

中国专利 :CN101484966B ,2009-07-15

[8]

电子束蒸发装置 [P].

王政英 ;

黄建伟 ;

邹冰艳 ;

潘昭海 ;

曹伟宸 .

中国专利 :CN101748369A ,2010-06-23

[9]

电子束蒸发源装置 [P].

叶宗锋 ;

刘惠森 ;

杨明生 .

中国专利 :CN202705454U ,2013-01-30

[10]

电子束蒸发源装置 [P].

丁海峰 .

中国专利 :CN101619442A ,2010-01-06

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