一种新型半导体生产加工用扩散炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121471545.2

申请日：

2021-06-30

公开(公告)号：

CN215295814U

公开(公告)日：

2021-12-24

发明(设计)人：

黄重毅

申请人：

申请人地址：

231500 安徽省合肥市庐江县庐城镇城西开发区罗河路156号世巨科技

IPC主分类号：

F27B1700

IPC分类号：

F27D118 F27D100 H01L2167

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种半导体生产线用新型节能扩散炉 [P].

朱育平 ;

陈庆建 ;

孟祥飞 .

中国专利 :CN207608661U ,2018-07-13

[2]

一种扩散片生产加工用扩散炉 [P].

杨本广 ;

侯志刚 ;

刘在军 .

中国专利 :CN221005925U ,2024-05-24

[3]

一种半导体制备扩散炉 [P].

王家武 ;

杨定永 ;

张顺祥 ;

阿凤雄 ;

罗应强 .

中国专利 :CN213266791U ,2021-05-25

[4]

一种半导体材料制备扩散炉 [P].

张顺祥 ;

阿凤雄 .

中国专利 :CN222165674U ,2024-12-13

[5]

一种新型半导体材料生产加工用装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114226013A ,2022-03-25

[6]

一种半导体扩散炉支撑环架 [P].

程宪良 .

中国专利 :CN216694485U ,2022-06-07

[7]

一种半导体扩散炉用陶瓷手臂 [P].

程宪良 .

中国专利 :CN216563068U ,2022-05-17

[8]

一种半导体扩散炉花篮存储支架 [P].

程宪良 .

中国专利 :CN217072331U ,2022-07-29

[9]

一种半导体扩散炉用花篮支架 [P].

程宪良 .

中国专利 :CN216698310U ,2022-06-07

[10]

一种新型用于半导体生产加工的单晶炉 [P].

张唐魁 .

中国专利 :CN215289035U ,2021-12-24

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