具有等离子体源的沉积反应器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180069841.2

申请日：

2011-04-07

公开(公告)号：

CN103459660A

公开(公告)日：

2013-12-18

发明(设计)人：

V·基尔皮 W-M·李 T·马利南 J·科斯塔莫 S·林德弗斯

申请人：

申请人地址：

芬兰埃斯波

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吴亦华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581964408 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2011800698412 申请日:20110407
2013-12-18	公开	公开
2016-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

用于等离子体反应器的增强等离子体源 [P].

V·N·托多罗 ;

G·勒雷 ;

M·D·威尔沃斯 ;

L-S·蒋 .

中国专利 :CN105340059A ,2016-02-17

[2]

具有电感耦合等离子体源的反应器 [P].

K·C·保罗 ;

T·V·恩古耶 ;

D·凯德拉亚 ;

M·阿瓦米 ;

V·帕蒂尔 ;

S·沙尔玛 .

美国专利 :CN117769754A ,2024-03-26

[3]

具有等离子体源的原子层沉积 [P].

V·基尔皮 ;

W-M·李 ;

T·马利南 ;

J·科斯塔莫 ;

S·林德弗斯 .

中国专利 :CN103635605A ,2014-03-12

[4]

具有独立的电容及环形等离子体源的等离子体反应器设备 [P].

亚历山大·M·帕特森 ;

瓦伦丁·N·托多罗夫 ;

西奥多洛斯·帕纳戈波洛斯 ;

布赖恩·K·哈彻 ;

丹·卡茨 ;

爱德华·P·哈蒙德四世 ;

约翰·P·荷文 ;

亚历山大·马特尤什金 .

中国专利 :CN101064238A ,2007-10-31

[5]

等离子体反应器 [P].

A·萨拉巴斯 ;

A·A·H·塔哈 ;

D·乔达里 ;

M·克林德沃特 ;

C·埃勒特 .

中国专利 :CN102237247A ,2011-11-09

[6]

等离子体反应器 [P].

G·P·奈特 ;

A·钱伯斯 .

中国专利 :CN101755322B ,2010-06-23

[7]

等离子体反应器 [P].

张婧 ;

厉建祥 ;

张铁 ;

任君朋 ;

孙峰 ;

朱云峰 ;

徐伟 .

中国专利 :CN208577431U ,2019-03-05

[8]

等离子体反应器 [P].

李大勋 ;

金冠泰 ;

宋永焄 ;

车旻锡 ;

李载玉 ;

金释俊 .

中国专利 :CN101972621A ,2011-02-16

[9]

等离子体反应器 [P].

张海洋 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN202231939U ,2012-05-23

[10]

等离子体反应器 [P].

张海洋 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN202210507U ,2012-05-02

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