基板清洗方法及基板清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510071142.1

申请日：

2015-02-10

公开(公告)号：

CN104941948A

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

宫胜彦

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市

IPC主分类号：

B08B312

IPC分类号：

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

宋晓宝;向勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631730214 IPC(主分类):B08B 3/12 专利申请号:2015100711421 申请日:20150210
2017-03-22	授权	授权
2015-09-30	公开	公开

共 50 条

[1]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

田中孝佳 ;

宫城雅宏 .

中国专利 :CN101373706A ,2009-02-25

[2]

基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法 [P].

中野央二郎 ;

国泽淳次 .

中国专利 :CN108878314A ,2018-11-23

[3]

基板清洗装置、基板清洗方法及基板处理装置 [P].

深谷孝一 ;

石桥知淳 ;

中野央二郎 .

日本专利 :CN107393846B ,2024-04-09

[4]

基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法 [P].

中野央二郎 .

日本专利 :CN112289703B ,2025-12-23

[5]

基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法 [P].

村地弘美 ;

吉田隆一 ;

西山耕二 ;

门间徹 ;

寒河江力 .

中国专利 :CN107818929A ,2018-03-20

[6]

基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法 [P].

中野央二郎 .

中国专利 :CN112289703A ,2021-01-29

[7]

基板清洗装置、基板处理装置及基板清洗方法 [P].

徐海洋 ;

稻叶充彦 .

日本专利 :CN118943054A ,2024-11-12

[8]

基板清洗装置及基板的清洗方法 [P].

及川文利 ;

深谷孝一 ;

马场枝里奈 ;

末政秀一 ;

中野央二郎 .

中国专利 :CN114682547A ,2022-07-01

[9]

基板清洗装置、基板清洗方法、基板处理装置以及基板干燥装置 [P].

石桥知淳 .

中国专利 :CN108780746A ,2018-11-09

[10]

基板清洗装置、基板清洗方法、基板处理装置以及基板干燥装置 [P].

石桥知淳 .

日本专利 :CN108780746B ,2024-03-22

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