用于高灵敏生化检测的微型双端固支梁传感器的制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201610206744.8
申请日
2016-04-05
公开(公告)号
CN105858593A
公开(公告)日
2016-08-17
发明(设计)人
王晶晶 杨晋玲 朱银芳 张金英 杨富华
申请人
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号
B81C100
IPC分类号
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
汤保平
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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[4]
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[5]
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[9]
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[10]
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