基板支撑件和真空干燥设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620226536.X

申请日：

2016-03-21

公开(公告)号：

CN205428881U

公开(公告)日：

2016-08-03

发明(设计)人：

余忠兴吴斌孟祥明李坤李曼飞

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李相雨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	授权	授权

共 50 条

[1]

基板支撑装置及支撑方法、真空干燥设备 [P].

王曼 ;

翟玉漫 .

中国专利 :CN104617017A ,2015-05-13

[2]

真空干燥设备 [P].

魏雄伟 .

中国专利 :CN208359724U ,2019-01-11

[3]

真空干燥设备 [P].

丁鹏坤 .

中国专利 :CN201706857U ,2011-01-12

[4]

真空干燥设备 [P].

罗镇江 ;

王月 ;

李长安 ;

井峰 .

中国专利 :CN207097667U ,2018-03-13

[5]

真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备 [P].

江兵 .

中国专利 :CN114771111B ,2024-03-22

[6]

干燥设备用支撑件 [P].

汤晓忠 .

中国专利 :CN305921247S ,2020-07-14

[7]

真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备 [P].

江兵 .

中国专利 :CN114771111A ,2022-07-22

[8]

旋转真空干燥设备 [P].

叶建敏 ;

叶建刚 ;

叶显富 .

中国专利 :CN205209126U ,2016-05-04

[9]

污泥真空干燥设备 [P].

郭浩天 ;

孙佳琛 ;

崔鹏飞 ;

陶靖 .

中国专利 :CN209338365U ,2019-09-03

[10]

一种基板支撑结构、真空干燥设备以及真空干燥的方法 [P].

邢宏伟 ;

穆慧慧 ;

元敏 ;

张鹤群 ;

杨龙根 .

中国专利 :CN104801472A ,2015-07-29

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