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一种自动化晶圆转移装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822047584.4
申请日：
2018-12-07
公开(公告)号：
CN209199896U
公开(公告)日：
2019-08-02
发明(设计)人：
张鹏
吴海波
崔福娣
申请人：
申请人地址：
225128 江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
南京苏科专利代理有限责任公司 32102
代理人：
董旭东
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-02 | 授权 | 授权 |