一种多晶硅生产中六氯乙硅烷和六氯二硅氧烷回收系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120823536.9
申请日
2021-04-21
公开(公告)号
CN215249596U
公开(公告)日
2021-12-21
发明(设计)人
明勇 宋垒 向春林 涂大勇
申请人
申请人地址
614800 四川省乐山市五通桥区龙翔路999号
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211
代理人
向丹
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统 [P]. 
刘华鹏 ;
翟占利 ;
樊晶 .
中国专利 :CN216687513U ,2022-06-07
[2]
一种多晶硅生产的氯硅烷回收系统 [P]. 
李东升 ;
袁淑艳 ;
董燕军 ;
杨志成 ;
马明 .
中国专利 :CN209618900U ,2019-11-12
[3]
一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法 [P]. 
张建树 ;
赵文龙 ;
张金利 ;
郭瑞丽 ;
彭文才 .
中国专利 :CN116102018B ,2024-06-04
[4]
多晶硅生产中氯硅烷脱碳工艺 [P]. 
杨昊 ;
何瑞 ;
薛山 ;
金广宇 .
中国专利 :CN117550612A ,2024-02-13
[5]
生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和六氯乙硅烷的系统 [P]. 
陶刚义 .
中国专利 :CN112645336B ,2021-04-13
[6]
一种多晶硅生产中六氯二硅烷处理方法及处理装置 [P]. 
李斌 ;
罗周 ;
向春林 ;
宋垒 .
中国专利 :CN110642255A ,2020-01-03
[7]
多晶硅生产中二氯硅烷的平衡控制方法及系统 [P]. 
蒋鹏 ;
陈喜清 ;
陈国辉 ;
陈文岳 ;
王玉丽 ;
刘小凤 .
中国专利 :CN110745830A ,2020-02-04
[8]
一种多晶硅生产中尾气处理系统的氯硅烷回收系统 [P]. 
杨楠 ;
袁中华 .
中国专利 :CN215559041U ,2022-01-18
[9]
还原生产多晶硅回收的氯硅烷的处理方法和装置、多晶硅生产中的氯硅烷的处理方法和系统 [P]. 
陈莉娜 ;
宋高杰 ;
张旭 ;
江庆云 ;
其他发明人请求不公开姓名 .
中国专利 :CN105366681B ,2016-03-02
[10]
多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法 [P]. 
戴自忠 ;
易忠海 .
中国专利 :CN101417802A ,2009-04-29