一种多晶硅生产的氯硅烷回收系统

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专利类型
实用新型
申请号
CN201920308554.6
申请日
2019-03-11
公开(公告)号
CN209618900U
公开(公告)日
2019-11-12
发明(设计)人
李东升 袁淑艳 董燕军 杨志成 马明
申请人
申请人地址
010070 内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街88号
IPC主分类号
C01B3303
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代理机构
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共 50 条
[1]
一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置 [P]. 
谭德军 .
中国专利 :CN204057978U ,2014-12-31
[2]
一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统 [P]. 
杨刊 ;
冯巩 ;
孟昱良 .
中国专利 :CN207792717U ,2018-08-31
[3]
一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统 [P]. 
陈绍林 ;
彭中 ;
程茂林 ;
贾琳蔚 ;
王亚萍 .
中国专利 :CN217504147U ,2022-09-27
[4]
一种多晶硅还原尾气用氯硅烷回收系统 [P]. 
张芥铭 ;
向春林 ;
周大国 ;
王建国 .
中国专利 :CN217498694U ,2022-09-27
[5]
一种多晶硅生产中尾气处理系统的氯硅烷回收系统 [P]. 
杨楠 ;
袁中华 .
中国专利 :CN215559041U ,2022-01-18
[6]
多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统 [P]. 
刘华鹏 ;
翟占利 ;
樊晶 .
中国专利 :CN216687513U ,2022-06-07
[7]
一种生产多晶硅的废气回收系统 [P]. 
黄俊 ;
颜泽亮 ;
韩继文 ;
虎登慧 .
中国专利 :CN210736226U ,2020-06-12
[8]
一种多晶硅生产尾气用硅烷气回收系统 [P]. 
常露露 ;
姜从强 ;
姜智威 ;
卞创贤 ;
张肆硕 ;
洪杰 .
中国专利 :CN222411071U ,2025-01-28
[9]
还原生产多晶硅回收的氯硅烷的处理方法和装置、多晶硅生产中的氯硅烷的处理方法和系统 [P]. 
陈莉娜 ;
宋高杰 ;
张旭 ;
江庆云 ;
其他发明人请求不公开姓名 .
中国专利 :CN105366681B ,2016-03-02
[10]
一种多晶硅生产中六氯乙硅烷和六氯二硅氧烷回收系统 [P]. 
明勇 ;
宋垒 ;
向春林 ;
涂大勇 .
中国专利 :CN215249596U ,2021-12-21