一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721747593.3
申请日
2017-12-14
公开(公告)号
CN207792717U
公开(公告)日
2018-08-31
发明(设计)人
杨刊 冯巩 孟昱良
申请人
申请人地址
052360 河北省石家庄市辛集市工业路南段东侧制革区内
IPC主分类号
C01B33107
IPC分类号
代理机构
北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467
代理人
贾凯
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多晶硅生产的氯硅烷回收系统 [P]. 
李东升 ;
袁淑艳 ;
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[2]
多晶硅还原尾气中氯硅烷的回收装置 [P]. 
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[3]
一种多晶硅含氯硅烷尾气节能回收系统 [P]. 
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彭中 ;
程茂林 ;
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[4]
一种多晶硅还原尾气用氯硅烷回收系统 [P]. 
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王启海 ;
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陈立志 .
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[6]
一种多晶硅生产废气回收氯硅烷的装置 [P]. 
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
一种多晶硅生产中尾气回收系统 [P]. 
宋垒 ;
涂大勇 ;
向春林 ;
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