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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-09-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101586969127 IPC(主分类):C23C 8/26 专利号:ZL2009200828789 申请日:20090727 授权公告日:20100728 终止日期:20130727 |
| 2010-07-28 | 授权 | 授权 |