正型抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280030770.X

申请日：

2012-06-18

公开(公告)号：

CN103620499B

公开(公告)日：

2014-03-05

发明(设计)人：

照井贵阳森高小森谷治彦

申请人：

申请人地址：

日本山口县

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F7039

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-17	授权	授权
2014-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581161032 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:201280030770X 申请日:20120618
2014-03-05	公开	公开

共 50 条

[1]

正型抗蚀剂组合物 [P].

川名大助 ;

山田知孝 ;

细野隆之 ;

田村弘毅 .

中国专利 :CN100454143C ,2005-10-05

[2]

正型抗蚀剂组合物 [P].

高桥和树 ;

松本直纯 ;

引田二郎 .

中国专利 :CN104076607A ,2014-10-01

[3]

正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法 [P].

明石一通 ;

浦部慈子 ;

张锐 ;

片山朋英 .

中国专利 :CN113632007A ,2021-11-09

[4]

正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法 [P].

明石一通 ;

浦部慈子 ;

张锐 ;

片山朋英 .

德国专利 :CN113632007B ,2025-10-03

[5]

抗蚀剂组合物 [P].

堀口明 ;

赤井泰之 ;

片山彻 .

中国专利 :CN101482698A ,2009-07-15

[6]

正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法 [P].

室井雅昭 ;

厚地浩太 ;

中村孝弘 ;

山田雅和 ;

最所贤介 .

中国专利 :CN101223479A ,2008-07-16

[7]

正型光致抗蚀剂组合物 [P].

今田知之 ;

鹿毛孝和 ;

今泉规史 .

中国专利 :CN103270451A ,2013-08-28

[8]

正型光致抗蚀剂组合物 [P].

森尾公隆 ;

加藤哲也 .

中国专利 :CN1603955A ,2005-04-06

[9]

正型感光性树脂组合物及永久抗蚀剂 [P].

森田博 ;

竹之内宏美 ;

小林纯 ;

尾见仁一 .

中国专利 :CN102566279A ,2012-07-11

[10]

正型抗蚀剂组合物 [P].

细野隆之 ;

田村弘毅 ;

川名大助 ;

山田知孝 .

中国专利 :CN1677235A ,2005-10-05

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