正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080025092.2

申请日：

2020-03-26

公开(公告)号：

CN113632007A

公开(公告)日：

2021-11-09

发明(设计)人：

明石一通浦部慈子张锐片山朋英

申请人：

申请人地址：

德国达姆施塔特

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

G03F7004

代理机构：

北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216

代理人：

刘卓然

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20200326
2021-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

正型抗蚀剂组合物和使用该正型抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法 [P].

明石一通 ;

浦部慈子 ;

张锐 ;

片山朋英 .

德国专利 :CN113632007B ,2025-10-03

[2]

正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法 [P].

室井雅昭 ;

厚地浩太 ;

中村孝弘 ;

山田雅和 ;

最所贤介 .

中国专利 :CN101223479A ,2008-07-16

[3]

正型抗蚀剂组合物 [P].

照井贵阳 ;

森高 ;

小森谷治彦 .

中国专利 :CN103620499B ,2014-03-05

[4]

正型抗蚀剂组合物 [P].

川名大助 ;

山田知孝 ;

细野隆之 ;

田村弘毅 .

中国专利 :CN100454143C ,2005-10-05

[5]

正型抗蚀剂组合物和形成抗蚀图案的方法 [P].

山崎晃义 ;

谷和夫 ;

本池直人 ;

前盛论 ;

吉泽佐智子 .

中国专利 :CN1853140B ,2006-10-25

[6]

正型抗蚀剂组合物 [P].

细野隆之 ;

田村弘毅 ;

川名大助 ;

山田知孝 .

中国专利 :CN1677235A ,2005-10-05

[7]

正型抗蚀剂组合物 [P].

高桥和树 ;

松本直纯 ;

引田二郎 .

中国专利 :CN104076607A ,2014-10-01

[8]

正型抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

广崎贵子 ;

盐野大寿 ;

平山拓 .

中国专利 :CN101176041A ,2008-05-07

[9]

正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

解德升 ;

夏元玲 ;

陈相见 .

中国专利 :CN119002178A ,2024-11-22

[10]

正型抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法 [P].

染谷和也 ;

山口敏弘 ;

青木知三郎 .

中国专利 :CN102650830B ,2012-08-29

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