正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410889235.4

申请日：

2024-07-04

公开(公告)号：

CN119002178A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

解德升夏元玲陈相见

申请人：

湖北鼎龙芯盛科技有限公司鼎龙（潜江）新材料有限公司湖北鼎龙控股股份有限公司

申请人地址：

430057 湖北省武汉市武汉经济技术开发区54MB地块（东荆河路1号）办公室507室

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/039

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

河南省郑州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	公开	公开
2024-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20240704

共 50 条

[1]

正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

佐藤和史 ;

萩原三雄 ;

川名大助 .

中国专利 :CN100576076C ,2006-02-08

[2]

用于抗蚀剂的树脂、正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

林亮太郎 ;

羽田英夫 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1832971A ,2006-09-13

[3]

正性抗蚀剂组合物与抗蚀剂图案形成方法 [P].

米村幸治 ;

中绪卓 .

中国专利 :CN1696831A ,2005-11-16

[4]

正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法 [P].

室井雅昭 ;

厚地浩太 ;

中村孝弘 ;

山田雅和 ;

最所贤介 .

中国专利 :CN101223479A ,2008-07-16

[5]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

平野智之 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118414582A ,2024-07-30

[6]

抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

砂道智成 ;

桥本阳奈 ;

中川裕介 .

日本专利 :CN118401895A ,2024-07-26

[7]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

平野智之 ;

米村幸治 ;

中川裕介 .

中国专利 :CN112987497A ,2021-06-18

[8]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

中村刚 ;

铃木阳介 ;

李俊烨 .

中国专利 :CN112654926A ,2021-04-13

[9]

正型抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法 [P].

染谷和也 ;

山口敏弘 ;

青木知三郎 .

中国专利 :CN102650830B ,2012-08-29

[10]

抗蚀剂组合物、抗蚀剂图案形成方法 [P].

熊田信次 ;

前盛谕 ;

新井雅俊 ;

盐野大寿 .

中国专利 :CN102621807A ,2012-08-01

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