正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200380107529.3

申请日：

2003-12-18

公开(公告)号：

CN100576076C

公开(公告)日：

2006-02-08

发明(设计)人：

佐藤和史萩原三雄川名大助

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈长会

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-12-30	授权	授权
2006-02-08	公开	公开

共 50 条

[1]

正型抗蚀剂组合物和形成抗蚀图案的方法 [P].

山崎晃义 ;

谷和夫 ;

本池直人 ;

前盛论 ;

吉泽佐智子 .

中国专利 :CN1853140B ,2006-10-25

[2]

用于抗蚀剂的树脂、正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

林亮太郎 ;

羽田英夫 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1832971A ,2006-09-13

[3]

正型抗蚀剂组合物以及抗蚀图案的形成方法 [P].

萩原三雄 ;

中绪卓 ;

新田和行 .

中国专利 :CN100410810C ,2005-02-02

[4]

正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

解德升 ;

夏元玲 ;

陈相见 .

中国专利 :CN119002178A ,2024-11-22

[5]

正性抗蚀剂组合物与抗蚀剂图案形成方法 [P].

米村幸治 ;

中绪卓 .

中国专利 :CN1696831A ,2005-11-16

[6]

抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法 [P].

砂道智成 ;

中川裕介 ;

米村幸治 ;

平野智之 ;

齐藤彩 .

中国专利 :CN112445067A ,2021-03-05

[7]

正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图案的方法 [P].

林亮太郎 ;

竹下优 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1813222A ,2006-08-02

[8]

形成抗蚀图案的方法、正型抗蚀剂组合物和层状产品 [P].

羽田英夫 ;

宫入美和 ;

久保田尚孝 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1997939A ,2007-07-11

[9]

正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法 [P].

室井雅昭 ;

厚地浩太 ;

中村孝弘 ;

山田雅和 ;

最所贤介 .

中国专利 :CN101223479A ,2008-07-16

[10]

正型抗蚀剂组合物以及抗蚀图案的形成方法 [P].

中山一彦 ;

高木勇 .

中国专利 :CN1550898A ,2004-12-01

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