正型抗蚀剂组合物和形成抗蚀图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480026631.5

申请日：

2004-09-17

公开(公告)号：

CN1853140B

公开(公告)日：

2006-10-25

发明(设计)人：

山崎晃义谷和夫本池直人前盛论吉泽佐智子

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

G03F7004 H01L21027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

陈长会

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-25	授权	授权
2006-10-25	公开	公开
2006-12-20	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

佐藤和史 ;

萩原三雄 ;

川名大助 .

中国专利 :CN100576076C ,2006-02-08

[2]

正型抗蚀剂组合物及使用其形成抗蚀图案的方法 [P].

林亮太郎 ;

竹下优 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1813222A ,2006-08-02

[3]

形成抗蚀图案的方法、正型抗蚀剂组合物和层状产品 [P].

羽田英夫 ;

宫入美和 ;

久保田尚孝 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1997939A ,2007-07-11

[4]

正型抗蚀剂组合物以及抗蚀图案的形成方法 [P].

萩原三雄 ;

中绪卓 ;

新田和行 .

中国专利 :CN100410810C ,2005-02-02

[5]

正型抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法 [P].

大久保和喜 ;

萩原三雄 ;

新田和行 .

中国专利 :CN1916763A ,2007-02-21

[6]

正型抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法 [P].

大久保和喜 ;

萩原三雄 ;

新田和行 .

中国专利 :CN1310092C ,2005-02-02

[7]

正型抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法 [P].

染谷和也 ;

山口敏弘 ;

青木知三郎 .

中国专利 :CN102650830B ,2012-08-29

[8]

正型抗蚀剂组合物的制备方法、正型抗蚀剂组合物和抗蚀图案形成方法 [P].

室井雅昭 ;

厚地浩太 ;

中村孝弘 ;

山田雅和 ;

最所贤介 .

中国专利 :CN101223479A ,2008-07-16

[9]

用于抗蚀剂的树脂、正性抗蚀剂组合物和形成抗蚀剂图案的方法 [P].

林亮太郎 ;

羽田英夫 ;

岩井武 .

中国专利 :CN1832971A ,2006-09-13

[10]

化学增幅型正型抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案形成方法 [P].

小竹正晃 ;

增永惠一 ;

渡边聪 ;

大桥正树 .

中国专利 :CN108255019A ,2018-07-06

← 1 2 3 4 5 →