高结合力的多层光刻胶的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111263635.7

申请日：

2021-10-25

公开(公告)号：

CN114141611A

公开(公告)日：

2022-03-04

发明(设计)人：

殷岚勇施元军石磊张宜山

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区胜浦江浦路82号3号厂房

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

H01L213105 H01L21311

代理机构：

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法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20211025
2022-03-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光刻厚胶与金属基底结合力的改善方法 [P].

赵广宏 ;

张姗 ;

汪郁东 ;

刘春梅 ;

金小锋 .

中国专利 :CN110928142A ,2020-03-27

[2]

用于多层光刻胶方法的热固性聚酯防反射涂料 [P].

邵协 ;

C·赫丝特 ;

T·D·弗莱姆 ;

T·L·伯韦尔 .

中国专利 :CN1276883A ,2000-12-13

[3]

一种提高光刻胶胶层与电铸金属层界面结合力的方法 [P].

魏相飞 ;

何锐 ;

张刚 ;

方杰 ;

张仲义 ;

陈传军 .

中国专利 :CN108751125A ,2018-11-06

[4]

具有高结合力的面板 [P].

潘佳妃 .

中国专利 :CN201536460U ,2010-07-28

[5]

高结合力压敏胶带的制造方法 [P].

金闯 ;

张庆杰 .

中国专利 :CN106189907A ,2016-12-07

[6]

高结合力聚酰亚胺薄膜及其制备方法 [P].

姬亚宁 ;

青双桂 ;

马纪翔 ;

潘钦鹏 ;

白小庆 .

中国专利 :CN115850776B ,2024-01-30

[7]

一种高结合力木蜡油的制备方法 [P].

陈兴权 ;

葛明月 ;

李雪晴 .

中国专利 :CN106978076A ,2017-07-25

[8]

改善表面结合力的方法 [P].

章国伟 ;

佟大明 ;

何智清 ;

李兵 ;

刘瑛 .

中国专利 :CN103367107B ,2013-10-23

[9]

光刻胶液制备方法及使用该光刻胶液的光刻胶膜 [P].

森尾公隆 ;

青木知三郎 .

中国专利 :CN1928717A ,2007-03-14

[10]

光刻胶图案的制备方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN108153109A ,2018-06-12

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