一种蒸镀源供料装置及蒸镀源供料方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011459627.5

申请日：

2020-12-11

公开(公告)号：

CN112626462A

公开(公告)日：

2021-04-09

发明(设计)人：

廖良生黄稳武启飞赵平赵鹏鹏胡淳冯敏强

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

胡彬

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20201211
2021-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

牛玉山 .

中国专利 :CN113088892A ,2021-07-09

[2]

蒸镀源、蒸镀装置 [P].

谢虎 ;

付潇 ;

郭书鹏 ;

黄俊淞 .

中国专利 :CN109112488A ,2019-01-01

[3]

何瑞亭 ;

李晓康 .

中国专利 :CN206298636U ,2017-07-04

[4]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源以及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN108866485B ,2018-11-23

[5]

一种蒸镀源 [P].

郑沂 ;

林志斌 .

中国专利 :CN212864943U ,2021-04-02

[6]

一种蒸镀装置及蒸镀机 [P].

黄稳 ;

武启飞 ;

赵平 ;

赵鹏鹏 ;

胡淳 ;

廖良生 ;

冯敏强 .

中国专利 :CN214694343U ,2021-11-12

[7]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 ;

袁广才 .

中国专利 :CN115216737B ,2024-03-26

[8]

蒸镀掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

李晓虎 ;

曲燕 ;

康亮亮 ;

靳倩 ;

王路 ;

王伟杰 ;

焦志强 .

中国专利 :CN117660888A ,2024-03-08

[9]

坩埚、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

卜斌 .

中国专利 :CN107190236B ,2017-09-22

[10]

蒸镀坩埚及蒸镀装置 [P].

李民国 ;

毕德锋 ;

罗书成 ;

李成胜 .

中国专利 :CN113388814A ,2021-09-14

← 1 2 3 4 5 →