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蒸镀源及蒸镀装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110348544.7
申请日：
2021-03-31
公开(公告)号：
CN113088892A
公开(公告)日：
2021-07-09
发明(设计)人：
牛玉山
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1426
IPC分类号：
C23C1454
代理机构：
北京市立方律师事务所 11330
代理人：
张筱宁;宋海斌
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20210331 |
| 2021-07-09 | 公开 | 公开 |