蒸发装置、蒸镀设备和蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610605160.8

申请日：

2016-07-27

公开(公告)号：

CN106119781B

公开(公告)日：

2016-11-16

发明(设计)人：

赵德江

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

滕一斌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101691392891 IPC(主分类):C23C 14/26 专利申请号:2016106051608 申请日:20160727
2016-11-16	公开	公开
2018-10-30	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸镀装置及蒸镀设备 [P].

邱林林 ;

袁海江 .

中国专利 :CN119615070A ,2025-03-14

[2]

蒸镀线源坩埚和蒸镀设备 [P].

王宇钊 ;

刘华猛 ;

李彦松 ;

文官印 ;

王琳琳 .

中国专利 :CN119800289A ,2025-04-11

[3]

蒸镀系统和真空蒸镀设备 [P].

刘志康 ;

伽龙 ;

吴明忠 ;

吴林海 .

中国专利 :CN117987780A ,2024-05-07

[4]

蒸发装置及蒸镀设备 [P].

贾晓晨 ;

关立伟 ;

刘锦东 ;

张学政 .

中国专利 :CN111118452B ,2022-04-08

[5]

蒸发装置及蒸镀设备 [P].

张真明 ;

张一峰 ;

龙巍 ;

胡逾超 .

中国专利 :CN222781671U ,2025-04-22

[6]

蒸镀设备及蒸镀工艺 [P].

梁作 ;

马昆松 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN117512522A ,2024-02-06

[7]

蒸镀设备及蒸镀工艺 [P].

梁作 ;

马昆松 ;

任虎鸣 .

中国专利 :CN117512522B ,2025-10-28

[8]

蒸镀坩埚及其蒸镀方法 [P].

唐凡 ;

陈永胜 .

中国专利 :CN106756804A ,2017-05-31

[9]

蒸镀源及蒸镀装置 [P].

牛玉山 .

中国专利 :CN113088892A ,2021-07-09

[10]

蒸发源装置以及蒸镀设备 [P].

张欢欢 ;

秦双亮 ;

林超 ;

李玉武 .

中国专利 :CN112376018A ,2021-02-19

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