蒸发装置及蒸镀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421562897.2

申请日：

2024-07-03

公开(公告)号：

CN222781671U

公开(公告)日：

2025-04-22

发明(设计)人：

张真明张一峰龙巍胡逾超

申请人：

通威太阳能（成都）有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内

IPC主分类号：

C23C14/26

IPC分类号：

C23C14/54

代理机构：

广州德科知识产权代理有限公司 44381

代理人：

林玉旋

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省徐州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN207525325U ,2018-06-22

[2]

蒸发装置及蒸镀设备 [P].

贾晓晨 ;

关立伟 ;

刘锦东 ;

张学政 .

中国专利 :CN111118452B ,2022-04-08

[3]

坩埚、蒸发源及蒸镀设备 [P].

赵德江 ;

袁广才 .

中国专利 :CN206916210U ,2018-01-23

[4]

蒸发源装置及蒸镀设备 [P].

刘全宝 ;

毋炳辉 ;

金跃康 ;

王传俊 ;

高松 ;

彭兆基 .

中国专利 :CN115011931A ,2022-09-06

[5]

蒸发装置、蒸镀设备和蒸镀方法 [P].

赵德江 .

中国专利 :CN106119781B ,2016-11-16

[6]

蒸发源及蒸镀设备 [P].

肖昂 ;

饶勇 ;

罗垒垒 ;

兰代江 ;

刘飞 ;

加新星 .

中国专利 :CN110144550B ,2019-08-20

[7]

蒸发源、蒸镀设备及蒸镀控制方法 [P].

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 ;

裴凤巍 .

中国专利 :CN107805783A ,2018-03-16

[8]

蒸发源装置、蒸镀装置及蒸镀系统 [P].

菅原由季 .

中国专利 :CN110541146A ,2019-12-06

[9]

蒸发源装置、蒸镀材料去除方法及蒸镀设备 [P].

陈闻凯 ;

魏盼 ;

朱凯 ;

林君 .

中国专利 :CN118345339A ,2024-07-16

[10]

蒸镀坩埚及蒸镀设备 [P].

牛玉山 ;

刘科雷 .

中国专利 :CN206015075U ,2017-03-15

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