电化学沉积设备组

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022806368.0

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN215050821U

公开(公告)日：

2021-12-07

发明(设计)人：

袁广才闫俊伟王成飞张国才董士豪孙少东齐琪曹占锋

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C25D1900

IPC分类号：

C25D1700 C25D700 C25D534 C25D548 C23G300 C23G136 C25D1706 C25D338 C25D2106 C23C2276 C23C2286

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

魏艳新;姜春咸

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-07	授权	授权

共 50 条

[1]

电化学沉积设备组和电化学沉积方法 [P].

袁广才 ;

闫俊伟 ;

王成飞 ;

张国才 ;

董士豪 ;

孙少东 ;

齐琪 ;

曹占锋 .

中国专利 :CN112442725B ,2024-05-24

[2]

电化学沉积设备组和电化学沉积方法 [P].

袁广才 ;

闫俊伟 ;

王成飞 ;

张国才 ;

董士豪 ;

孙少东 ;

齐琪 ;

曹占锋 .

中国专利 :CN112442725A ,2021-03-05

[3]

电化学沉积设备 [P].

李连松 ;

闫俊伟 ;

裴光辉 ;

任泽 ;

张国才 ;

董士豪 .

中国专利 :CN119013439A ,2024-11-22

[4]

电化学沉积设备 [P].

李连松 ;

闫俊伟 ;

裴光辉 ;

任泽 ;

张国才 ;

董士豪 .

中国专利 :CN119013439B ,2025-10-03

[5]

电化学沉积用阳极组件及电化学沉积设备 [P].

王成飞 ;

闫俊伟 ;

袁广才 ;

孙少东 ;

张国才 ;

董士豪 .

中国专利 :CN113737260A ,2021-12-03

[6]

水平式晶圆电化学沉积设备电化学沉积槽 [P].

祁志明 ;

李松松 ;

孙永胜 ;

李程 .

中国专利 :CN214937907U ,2021-11-30

[7]

用于电化学沉积的夹具以及电化学沉积装置和电化学沉积方法 [P].

汤洋 ;

郭逦达 ;

白安琪 ;

陈颉 .

中国专利 :CN105862112B ,2016-08-17

[8]

电化学沉积夹具 [P].

金俊成 .

中国专利 :CN206783798U ,2017-12-22

[9]

电化学沉积系统 [P].

阿瑟·凯格勒 ;

戴夫·瓜尔纳烚 ;

德梅特留斯·帕帕帕纳约图 ;

乔恩·汉德 ;

罗伯特·穆恩 .

中国专利 :CN112239881A ,2021-01-19

[10]

电化学沉积和补给设备 [P].

德梅特留斯·帕帕帕纳约图 ;

阿瑟·凯格勒 ;

大卫·瓜尔纳恰 ;

乔纳森·汉德 ;

约翰内斯·基乌 .

中国专利 :CN103608490B ,2014-02-26

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