一种二维热膜风速风向传感器及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210225095.8
申请日
2012-06-30
公开(公告)号
CN102749473B
公开(公告)日
2012-10-24
发明(设计)人
秦明 项天彧 陈升奇 周麟 黄庆安
申请人
申请人地址
214135 江苏省无锡市新区菱湖大道99号
IPC主分类号
G01P510
IPC分类号
G01P1302
代理机构
南京天翼专利代理有限责任公司 32112
代理人
汤志武
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种热膜风速风向传感器及其制备方法 [P]. 
祁明锋 ;
张珽 ;
刘瑞 ;
沈方平 ;
丁海燕 ;
谷文 .
中国专利 :CN104155472A ,2014-11-19
[2]
二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法 [P]. 
易真翔 ;
谢雨珏 ;
秦明 ;
黄庆安 .
中国专利 :CN113466488B ,2021-10-01
[3]
圆形硅膜二维风速风向传感器 [P]. 
李伟华 .
中国专利 :CN101980026A ,2011-02-23
[4]
一种热膜风速风向传感器 [P]. 
祁明锋 ;
张珽 ;
刘瑞 ;
沈方平 ;
丁海燕 ;
谷文 .
中国专利 :CN204008693U ,2014-12-10
[5]
矩形硅膜二维风速风向传感器 [P]. 
李伟华 .
中国专利 :CN101975870A ,2011-02-16
[6]
二维风速风向传感器及系统 [P]. 
王纪强 ;
宁雅农 ;
李振 ;
刘统玉 ;
赵林 ;
刘媛 ;
侯墨语 .
中国专利 :CN108387754B ,2018-08-10
[7]
基于陶瓷封装的二维热式风速风向传感器及其制作方法 [P]. 
秦明 ;
叶一舟 ;
姚玉瑾 ;
黄庆安 .
中国专利 :CN105547371B ,2016-05-04
[8]
矩形铂金薄膜二维风速风向传感器 [P]. 
李伟华 .
中国专利 :CN101980024B ,2011-02-23
[9]
圆形铂金薄膜二维风速风向传感器 [P]. 
李伟华 .
中国专利 :CN101980025B ,2011-02-23
[10]
一种二维双模式MEMS风速风向传感器及其制备方法 [P]. 
易真翔 ;
谢雨珏 ;
秦明 ;
黄庆安 .
中国专利 :CN113933535A ,2022-01-14