二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110814255.1

申请日：

2021-07-19

公开(公告)号：

CN113466488B

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

易真翔谢雨珏秦明黄庆安

申请人：

申请人地址：

211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

IPC主分类号：

G01P510

IPC分类号：

G01P1302 G01K702

代理机构：

南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249

代理人：

吴旭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	公开	公开
2021-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 5/10 申请日:20210719
2022-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种二维双模式MEMS风速风向传感器及其制备方法 [P].

易真翔 ;

谢雨珏 ;

秦明 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN113933535A ,2022-01-14

[2]

二维风速风向传感器及系统 [P].

王纪强 ;

宁雅农 ;

李振 ;

刘统玉 ;

赵林 ;

刘媛 ;

侯墨语 .

中国专利 :CN108387754B ,2018-08-10

[3]

二维电容差分式MEMS风速风向传感器 [P].

易真翔 ;

朱文静 .

中国专利 :CN115575661B ,2025-03-04

[4]

二维电容差分式MEMS风速风向传感器 [P].

易真翔 ;

朱文静 .

中国专利 :CN115575661A ,2023-01-06

[5]

一种二维热膜风速风向传感器及其制备方法 [P].

秦明 ;

项天彧 ;

陈升奇 ;

周麟 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN102749473B ,2012-10-24

[6]

圆形硅膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101980026A ,2011-02-23

[7]

矩形铂金薄膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101980024B ,2011-02-23

[8]

圆形铂金薄膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101980025B ,2011-02-23

[9]

矩形硅膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101975870A ,2011-02-16

[10]

微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路 [P].

秦明 ;

沈广平 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN101349708A ,2009-01-21

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