二维电容差分式MEMS风速风向传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211251664.6

申请日：

2022-10-13

公开(公告)号：

CN115575661B

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

易真翔朱文静

申请人：

东南大学

申请人地址：

211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

IPC主分类号：

G01P5/08

IPC分类号：

G01P13/00 G01P13/02

代理机构：

南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249

代理人：

秦秋星

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省南京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	授权	授权

共 50 条

[1]

二维电容差分式MEMS风速风向传感器 [P].

易真翔 ;

朱文静 .

中国专利 :CN115575661A ,2023-01-06

[2]

二维风速风向传感器及系统 [P].

王纪强 ;

宁雅农 ;

李振 ;

刘统玉 ;

赵林 ;

刘媛 ;

侯墨语 .

中国专利 :CN108387754B ,2018-08-10

[3]

圆形硅膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101980026A ,2011-02-23

[4]

矩形铂金薄膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101980024B ,2011-02-23

[5]

圆形铂金薄膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101980025B ,2011-02-23

[6]

矩形硅膜二维风速风向传感器 [P].

李伟华 .

中国专利 :CN101975870A ,2011-02-16

[7]

二维温度平衡模式MEMS风速风向传感器及其制备方法 [P].

易真翔 ;

谢雨珏 ;

秦明 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN113466488B ,2021-10-01

[8]

一种二维风速风向传感器校准系统 [P].

张聪 ;

陈超 ;

袁雪松 .

中国专利 :CN207248917U ,2018-04-17

[9]

微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路 [P].

秦明 ;

沈广平 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN101349708A ,2009-01-21

[10]

一种二维双模式MEMS风速风向传感器及其制备方法 [P].

易真翔 ;

谢雨珏 ;

秦明 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN113933535A ,2022-01-14

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