金属氧化物薄膜晶体管制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410562680.6

申请日：

2014-10-21

公开(公告)号：

CN104299915B

公开(公告)日：

2015-01-21

发明(设计)人：

张盛东邵阳肖祥贺鑫

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城北大园区

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2128

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司 11245

代理人：

徐宁;孙楠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599228715 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2014105626806 申请日:20141021
2015-01-21	公开	公开
2017-03-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种金属氧化物薄膜晶体管制作方法 [P].

张盛东 ;

邵阳 ;

肖祥 ;

贺鑫 .

中国专利 :CN104282576B ,2015-01-14

[2]

金属氧化物薄膜晶体管制备的方法 [P].

张盛东 ;

常宝柱 ;

陶金敖 ;

张羽晴 ;

王刚 ;

周晓梁 .

中国专利 :CN109037076A ,2018-12-18

[3]

金属氧化物薄膜晶体管制备方法 [P].

董承远 ;

施俊斐 .

中国专利 :CN102157563A ,2011-08-17

[4]

一种金属氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

张盛东 ;

邵阳 ;

周晓梁 ;

张乐陶 ;

卢慧玲 .

中国专利 :CN106373998A ,2017-02-01

[5]

氧化物薄膜晶体管制程方法 [P].

吴德峻 .

中国专利 :CN103050441A ,2013-04-17

[6]

一种氧化物薄膜晶体管制备方法 [P].

信恩龙 ;

李喜峰 ;

张建华 .

中国专利 :CN103177970A ,2013-06-26

[7]

金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法 [P].

刘启晗 ;

赵春 ;

赵策洲 ;

杨莉 ;

王琦男 .

中国专利 :CN109767988A ,2019-05-17

[8]

金属氧化物薄膜晶体管及其制备方法 [P].

张其国 ;

汪梅林 ;

韩学斌 ;

朱棋锋 ;

申剑锋 .

中国专利 :CN102437194A ,2012-05-02

[9]

金属氧化物薄膜晶体管 [P].

叶佳俊 ;

王裕霖 ;

蔡学宏 ;

王旨玄 .

中国专利 :CN103035734A ,2013-04-10

[10]

金属氧化物薄膜晶体管阵列的制备方法 [P].

张新安 ;

张伟风 ;

李爽 ;

杨光 ;

刘献省 .

中国专利 :CN106252278A ,2016-12-21

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