一种氧化物薄膜晶体管制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310058922.3

申请日：

2013-02-26

公开(公告)号：

CN103177970A

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

信恩龙李喜峰张建华

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区上大路99号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

代理机构：

上海上大专利事务所(普通合伙) 31205

代理人：

陆聪明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-26	公开	公开
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497325626 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2013100589223 申请日:20130226
2016-02-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727330480 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2013100589223 申请公布日:20130626

共 50 条

[1]

金属氧化物薄膜晶体管制备方法 [P].

张盛东 ;

邵阳 ;

肖祥 ;

贺鑫 .

中国专利 :CN104299915B ,2015-01-21

[2]

金属氧化物薄膜晶体管制备方法 [P].

董承远 ;

施俊斐 .

中国专利 :CN102157563A ,2011-08-17

[3]

氧化物薄膜晶体管制程方法 [P].

吴德峻 .

中国专利 :CN103050441A ,2013-04-17

[4]

金属氧化物薄膜晶体管制备的方法 [P].

张盛东 ;

常宝柱 ;

陶金敖 ;

张羽晴 ;

王刚 ;

周晓梁 .

中国专利 :CN109037076A ,2018-12-18

[5]

一种薄膜晶体管制备方法及薄膜晶体管 [P].

胡小波 .

中国专利 :CN109638077A ,2019-04-16

[6]

一种氧化物薄膜晶体管栅极及其制备、氧化物薄膜晶体管 [P].

宁洪龙 ;

卢宽宽 ;

彭俊彪 ;

姚日晖 ;

胡诗犇 ;

魏靖林 ;

邓宇熹 ;

邓培淼 ;

周尚雄 ;

袁炜健 .

中国专利 :CN108288643A ,2018-07-17

[7]

一种氧化物薄膜晶体管 [P].

宁洪龙 ;

刘贤哲 ;

姚日晖 ;

李晓庆 ;

张啸尘 ;

吴为敬 ;

徐苗 ;

王磊 ;

彭俊彪 .

中国专利 :CN207038530U ,2018-02-23

[8]

一种氧化物薄膜晶体管及其制备方法 [P].

宁洪龙 ;

刘贤哲 ;

姚日晖 ;

李晓庆 ;

张啸尘 ;

吴为敬 ;

徐苗 ;

王磊 ;

彭俊彪 .

中国专利 :CN107170832A ,2017-09-15

[9]

一种铟镓锌氧化物薄膜晶体管器件的制备方法 [P].

冯金波 ;

邱慧 ;

郑在纹 ;

竹文坤 ;

何嵘 ;

李宸 ;

任俨 ;

林丹 ;

杨帆 ;

乐昊飏 .

中国专利 :CN112420519B ,2021-02-26

[10]

氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

姚琪 ;

张锋 ;

曹占锋 ;

何晓龙 ;

张斌 ;

李正亮 .

中国专利 :CN105140131A ,2015-12-09

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