一种铟镓锌氧化物薄膜晶体管器件的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011302452.7

申请日：

2020-11-19

公开(公告)号：

CN112420519B

公开(公告)日：

2021-02-26

发明(设计)人：

冯金波邱慧郑在纹竹文坤何嵘李宸任俨林丹杨帆乐昊飏

申请人：

申请人地址：

621000 四川省绵阳市涪城区吴家镇惠科路1号

IPC主分类号：

H01L2134

IPC分类号：

H01L2102 H01L2924

代理机构：

北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369

代理人：

张忠庆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-08	授权	授权
2021-02-26	公开	公开
2021-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/34 申请日:20201119

共 50 条

[1]

一种铟镓锌氧基多层结构薄膜晶体管的制备方法 [P].

冯金波 ;

竹文坤 ;

邱慧 ;

白航空 ;

郑在纹 ;

何嵘 ;

李宸 ;

任俨 ;

林丹 ;

杨帆 ;

乐昊飏 .

中国专利 :CN112599420B ,2021-04-02

[2]

一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法 [P].

白航空 ;

竹文坤 ;

邱慧 ;

冯金波 ;

郑在纹 ;

何嵘 ;

李宸 ;

任俨 ;

林丹 ;

杨帆 ;

乐昊飏 .

中国专利 :CN112652575A ,2021-04-13

[3]

用于提升铟镓锌氧化物薄膜晶体管迁移率的制备方法 [P].

唐建石 ;

杨慧敏 ;

杜宜威 ;

李怡均 ;

高滨 ;

钱鹤 ;

吴华强 .

中国专利 :CN119584568B ,2025-11-28

[4]

铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制作方法 [P].

李松杉 .

中国专利 :CN107293493A ,2017-10-24

[5]

用于提升铟镓锌氧化物薄膜晶体管迁移率的制备方法 [P].

唐建石 ;

杨慧敏 ;

杜宜威 ;

李怡均 ;

高滨 ;

钱鹤 ;

吴华强 .

中国专利 :CN119584568A ,2025-03-07

[6]

铟镓锌氧化物薄膜的前驱液及铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

孙荷静 ;

邱恒达 ;

周航 .

中国专利 :CN112018191A ,2020-12-01

[7]

一种铟镓锌氧化物薄膜晶体管及其制造方法 [P].

陈荣盛 ;

刘远 ;

吴朝晖 ;

李斌 ;

李国元 .

中国专利 :CN107623040A ,2018-01-23

[8]

一种氧化物薄膜晶体管制备方法 [P].

信恩龙 ;

李喜峰 ;

张建华 .

中国专利 :CN103177970A ,2013-06-26

[9]

基于铟镓锌氧化物薄膜晶体管的四位全加器电路 [P].

章涵宇 ;

刘远 ;

史伟伟 ;

李俊辉 ;

熊晓明 ;

李星驰 .

中国专利 :CN210490840U ,2020-05-08

[10]

氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

姚琪 ;

张锋 ;

曹占锋 ;

何晓龙 ;

张斌 ;

李正亮 .

中国专利 :CN105140131A ,2015-12-09

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