一种铟镓锌氧基多层结构薄膜晶体管的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011581331.0

申请日：

2020-12-28

公开(公告)号：

CN112599420B

公开(公告)日：

2021-04-02

发明(设计)人：

冯金波竹文坤邱慧白航空郑在纹何嵘李宸任俨林丹杨帆乐昊飏

申请人：

申请人地址：

621000 四川省绵阳市涪城区吴家镇惠科路1号

IPC主分类号：

H01L2134

IPC分类号：

H01L29786

代理机构：

绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371

代理人：

张忠庆

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-26	授权	授权
2021-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/34 申请日:20201228
2021-04-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种铟镓锌氧化物薄膜晶体管器件的制备方法 [P].

冯金波 ;

邱慧 ;

郑在纹 ;

竹文坤 ;

何嵘 ;

李宸 ;

任俨 ;

林丹 ;

杨帆 ;

乐昊飏 .

中国专利 :CN112420519B ,2021-02-26

[2]

一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法 [P].

白航空 ;

竹文坤 ;

邱慧 ;

冯金波 ;

郑在纹 ;

何嵘 ;

李宸 ;

任俨 ;

林丹 ;

杨帆 ;

乐昊飏 .

中国专利 :CN112652575A ,2021-04-13

[3]

铟镓锌氧薄膜晶体管的掺杂方法 [P].

李泠 ;

段新绿 ;

卢年端 ;

耿玓 ;

刘明 .

中国专利 :CN111710609A ,2020-09-25

[4]

制备共面型铟镓锌氧薄膜晶体管的方法及薄膜晶体管 [P].

李泠 ;

段新绿 ;

卢年端 ;

耿玓 ;

刘明 .

中国专利 :CN111696868A ,2020-09-22

[5]

用于提升铟镓锌氧化物薄膜晶体管迁移率的制备方法 [P].

唐建石 ;

杨慧敏 ;

杜宜威 ;

李怡均 ;

高滨 ;

钱鹤 ;

吴华强 .

中国专利 :CN119584568B ,2025-11-28

[6]

用于提升铟镓锌氧化物薄膜晶体管迁移率的制备方法 [P].

唐建石 ;

杨慧敏 ;

杜宜威 ;

李怡均 ;

高滨 ;

钱鹤 ;

吴华强 .

中国专利 :CN119584568A ,2025-03-07

[7]

一种薄膜晶体管制备方法及薄膜晶体管 [P].

胡小波 .

中国专利 :CN109638077A ,2019-04-16

[8]

铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制作方法 [P].

李松杉 .

中国专利 :CN107293493A ,2017-10-24

[9]

一种铟镓锌氧薄膜晶体管 [P].

朱海 ;

李华山 ;

张龙飞 ;

刘道国 .

中国专利 :CN120603295A ,2025-09-05

[10]

铟镓锌氧化物薄膜的前驱液及铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备方法 [P].

孙荷静 ;

邱恒达 ;

周航 .

中国专利 :CN112018191A ,2020-12-01

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