一种在硅表面可控生长微纳孔结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010044845.2

申请日：

2010-01-15

公开(公告)号：

CN101759143A

公开(公告)日：

2010-06-30

发明(设计)人：

孙志军林琦

申请人：

申请人地址：

361005 福建省厦门市思明南路422号

IPC主分类号：

B82B300

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

厦门南强之路专利事务所 35200

代理人：

马应森

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005081637 IPC(主分类):B82B 3/00 专利申请号:2010100448452 申请日:20100115
2010-06-30	公开	公开
2014-04-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700467148 IPC(主分类):B82B 3/00 专利申请号:2010100448452 申请公布日:20100630

共 50 条

[1]

一种在液态金属表面制备微纳结构的方法 [P].

周柱泉 ;

王倩 ;

邓中山 ;

刘静 .

中国专利 :CN117431599A ,2024-01-23

[2]

一种刻蚀方向可控的硅纳米孔结构制作方法 [P].

袁志山 ;

冷夕杜 ;

王成勇 .

中国专利 :CN109437095B ,2019-03-08

[3]

一种新的硅基微纳结构的修饰方法 [P].

郑德印 ;

王玮 .

中国专利 :CN113651290B ,2024-09-17

[4]

一种新的硅基微纳结构的修饰方法 [P].

郑德印 ;

王玮 .

中国专利 :CN113651290A ,2021-11-16

[5]

一种硅基MEMS微纳通孔结构的制作方法 [P].

焦海龙 ;

赵广宏 ;

李文博 ;

金小锋 ;

张世名 ;

邹江波 .

中国专利 :CN106335871A ,2017-01-18

[6]

一种仿生微纳结构铝表面的制备方法 [P].

王富国 ;

张俊彦 .

中国专利 :CN104726926A ,2015-06-24

[7]

一种刻蚀方向可控的硅纳米孔结构及其制备方法 [P].

冷夕杜 ;

袁志山 ;

王成勇 ;

凌新生 .

中国专利 :CN109809360A ,2019-05-28

[8]

一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅制备方法 [P].

周洪彪 ;

刘文峰 ;

陆运章 .

中国专利 :CN104393114A ,2015-03-04

[9]

一种硅基仿生微纳结构表面的制备方法 [P].

王富国 ;

张俊彦 .

中国专利 :CN104724663A ,2015-06-24

[10]

一种仿生微纳结构超疏水铝表面的制备方法 [P].

王富国 ;

张俊彦 .

中国专利 :CN104726919A ,2015-06-24

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