一种制备石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610096667.5

申请日：

2016-02-23

公开(公告)号：

CN107099782A

公开(公告)日：

2017-08-29

发明(设计)人：

董国材张祥唐琪雯

申请人：

申请人地址：

213149 江苏省常州市武进经济开发区祥云路6号石墨烯

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C1634 C23C1644

代理机构：

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法律状态：

著录事项变更

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 16/26 变更事项:申请人变更前:常州国成新材料科技有限公司变更后:国成仪器（常州）有限公司变更事项:地址变更前:213149 江苏省常州市武进经济开发区祥云路6号石墨烯变更后:213149 江苏省常州市武进经济开发区祥云路6号石墨烯
2021-03-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/26 申请公布日:20170829
2017-08-29	公开	公开
2018-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20160223

共 50 条

[1]

一种制备石墨烯与六角氮化硼复合薄膜材料的方法 [P].

董国材 ;

唐琪雯 .

中国专利 :CN107954404A ,2018-04-24

[2]

一种石墨烯六角氮化硼（h-BN）复合薄膜的制备方法及其装置 [P].

董国材 ;

刘玉菲 ;

张金龙 .

中国专利 :CN109763114A ,2019-05-17

[3]

一种制备石墨烯和单层六角氮化硼复合材料的方法 [P].

董国材 .

中国专利 :CN103663416B ,2014-03-26

[4]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置 [P].

刘长江 ;

连榕 .

中国专利 :CN202913056U ,2013-05-01

[5]

一种石墨烯-氮化硼异质相复合薄膜材料的制备方法 [P].

赵士超 ;

张琪 ;

吕燕飞 .

中国专利 :CN105274491A ,2016-01-27

[6]

一种氮化硼复合纤维的化学气相沉积设备 [P].

孔令杰 ;

白晓航 .

中国专利 :CN112553602A ,2021-03-26

[7]

一种六角相氮化硼薄膜的制备方法 [P].

徐明生 ;

陈红征 .

中国专利 :CN103031516A ,2013-04-10

[8]

一种化学气相沉积制备氮化硼薄膜的方法 [P].

姚运喜 ;

陈均 ;

冯博民 ;

焦健 ;

杨金华 ;

杨轶飞 ;

郝亚伟 .

中国专利 :CN116180225B ,2024-08-23

[9]

一种用于制备石墨烯薄膜的化学气相沉积装置及方法 [P].

顾伟 ;

郑凯强 ;

刘冰之 ;

单婧媛 ;

高翾 .

中国专利 :CN113718230A ,2021-11-30

[10]

一种带滑轨的用于制备石墨烯的化学气相沉积装置 [P].

刘长江 ;

连榕 .

中国专利 :CN203794983U ,2014-08-27

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