一种氮化硼复合纤维的化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011412642.4

申请日：

2020-12-04

公开(公告)号：

CN112553602A

公开(公告)日：

2021-03-26

发明(设计)人：

孔令杰白晓航

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市高新区科学大道110号

IPC主分类号：

C23C1654

IPC分类号：

C23C1634 C23C1652

代理机构：

合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160

代理人：

刘生昕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-26	公开	公开
2021-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/54 申请日:20201204

共 50 条

[1]

一种内加热型氮化硼复合纤维化学气相沉积设备 [P].

孔令杰 ;

白晓航 .

中国专利 :CN112553603A ,2021-03-26

[2]

一种氮化硼气相沉积设备 [P].

胡祥龙 ;

周岳兵 ;

戴煜 ;

胡高健 ;

王艳艳 .

中国专利 :CN213925008U ,2021-08-10

[3]

一种制备石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化学气相沉积装置 [P].

董国材 ;

张祥 ;

唐琪雯 .

中国专利 :CN107099782A ,2017-08-29

[4]

化学气相沉积法制备氮化硼纤维织物界面层的制备工艺 [P].

张铭霞 ;

王重海 ;

程之强 ;

徐鸿照 ;

唐杰 ;

李传山 ;

唐建新 ;

黄健 .

中国专利 :CN102619081B ,2012-08-01

[5]

氮化钛化学气相沉积设备 [P].

周军 .

中国专利 :CN103194730A ,2013-07-10

[6]

一种化学气相沉积制备氮化硼薄膜的方法 [P].

姚运喜 ;

陈均 ;

冯博民 ;

焦健 ;

杨金华 ;

杨轶飞 ;

郝亚伟 .

中国专利 :CN116180225B ,2024-08-23

[7]

制备热解氮化硼制品用的化学气相沉积工艺及气相沉积炉 [P].

赵凤鸣 ;

赵林 .

中国专利 :CN102021533A ,2011-04-20

[8]

一种化学气相沉积设备 [P].

杨闰清 ;

韩子迦 ;

许灿 .

中国专利 :CN118256895A ,2024-06-28

[9]

一种化学气相沉积设备 [P].

丁伟 ;

郭世平 ;

姜勇 ;

郑振宇 ;

谢振南 ;

郭泉泳 ;

陈耀 ;

金文彬 .

中国专利 :CN120158723A ,2025-06-17

[10]

一种化学气相沉积喷头及化学气相沉积设备 [P].

方鹏 .

中国专利 :CN223674737U ,2025-12-16

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