MEMS热式流量传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020713583.3

申请日：

2020-04-30

公开(公告)号：

CN212843774U

公开(公告)日：

2021-03-30

发明(设计)人：

肖素艳胡维张永强

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室

IPC主分类号：

G01F1684

IPC分类号：

G01F169 B81C100

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;高翠花

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS热式流量传感器及其制作方法 [P].

肖素艳 ;

胡维 ;

张永强 .

中国专利 :CN111579012A ,2020-08-25

[2]

MEMS热式流量传感器 [P].

张小水 ;

刘建钢 ;

王书潜 ;

祁明锋 .

中国专利 :CN202403744U ,2012-08-29

[3]

MEMS热式流量传感器 [P].

孙京飞 .

中国专利 :CN213903402U ,2021-08-06

[4]

热式流量传感器 [P].

浅野哲 ;

松本昌大 ;

中野洋 .

中国专利 :CN103052866A ,2013-04-17

[5]

MEMS热式流量传感器 [P].

关一浩 .

中国专利 :CN119437345A ,2025-02-14

[6]

MEMS热式流量传感器 [P].

张小水 ;

刘建钢 ;

王书潜 ;

祁明锋 .

中国专利 :CN102620780A ,2012-08-01

[7]

热式流量传感器 [P].

浅野哲 ;

松本昌大 ;

中野洋 ;

半泽惠二 .

中国专利 :CN102620781A ,2012-08-01

[8]

热式流量传感器 [P].

张小水 ;

钟克创 ;

祁明锋 ;

刘建钢 .

中国专利 :CN201867207U ,2011-06-15

[9]

热式流量传感器 [P].

土井良介 ;

田代忍 ;

小野瀬保夫 ;

佐久间宪之 .

中国专利 :CN107003165A ,2017-08-01

[10]

热式流量传感器 [P].

土井良介 ;

田代忍 ;

铃木和纪 ;

松本昌大 .

中国专利 :CN105518420B ,2016-04-20

← 1 2 3 4 5 →