MEMS热式流量传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010362061.8

申请日：

2020-04-30

公开(公告)号：

CN111579012A

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

肖素艳胡维张永强

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号NW-09楼102室

IPC主分类号：

G01F1684

IPC分类号：

G01F169 B81C100

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;高翠花

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-25	公开	公开
2020-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01F 1/684 申请日:20200430

共 50 条

[1]

MEMS热式流量传感器 [P].

肖素艳 ;

胡维 ;

张永强 .

中国专利 :CN212843774U ,2021-03-30

[2]

热式流量传感器及其制作方法 [P].

杨绍松 ;

刘同庆 ;

曹锦云 ;

柳雪 .

中国专利 :CN114577287A ,2022-06-03

[3]

热式流量传感器及其制作方法与应用 [P].

焦斌斌 ;

刘瑞文 ;

孔延梅 ;

叶雨欣 .

中国专利 :CN106768112A ,2017-05-31

[4]

热式流量传感器 [P].

浅野哲 ;

松本昌大 ;

中野洋 .

中国专利 :CN103052866A ,2013-04-17

[5]

一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法 [P].

田伟 ;

胡国庆 .

中国专利 :CN115218975B ,2025-07-08

[6]

一种MEMS热式流量传感器及其制造方法 [P].

赵元富 ;

李光北 ;

张富强 ;

杨静 ;

孟美玉 ;

孙俊敏 .

中国专利 :CN104406644A ,2015-03-11

[7]

MEMS热式流量传感器 [P].

张小水 ;

刘建钢 ;

王书潜 ;

祁明锋 .

中国专利 :CN202403744U ,2012-08-29

[8]

MEMS热式流量传感器 [P].

孙京飞 .

中国专利 :CN213903402U ,2021-08-06

[9]

MEMS热式流量传感器 [P].

关一浩 .

中国专利 :CN119437345A ,2025-02-14

[10]

MEMS热式流量传感器 [P].

张小水 ;

刘建钢 ;

王书潜 ;

祁明锋 .

中国专利 :CN102620780A ,2012-08-01

← 1 2 3 4 5 →