一种MEMS热温差式流量传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110410006.6

申请日：

2021-04-16

公开(公告)号：

CN115218975B

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

田伟胡国庆

申请人：

青岛芯笙微纳电子科技有限公司

申请人地址：

266100 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园B座402室

IPC主分类号：

G01F1/684

IPC分类号：

代理机构：

青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247

代理人：

刘娜

法律状态：

授权

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-08	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS热式流量传感器及其制作方法 [P].

肖素艳 ;

胡维 ;

张永强 .

中国专利 :CN111579012A ,2020-08-25

[2]

温差式流量传感器及其制作方法 [P].

余柏林 ;

余发红 .

中国专利 :CN103453958B ,2013-12-18

[3]

热式流量传感器及其制作方法 [P].

杨绍松 ;

刘同庆 ;

曹锦云 ;

柳雪 .

中国专利 :CN114577287A ,2022-06-03

[4]

热式流量传感器及其制作方法与应用 [P].

焦斌斌 ;

刘瑞文 ;

孔延梅 ;

叶雨欣 .

中国专利 :CN106768112A ,2017-05-31

[5]

MEMS热式流量传感器 [P].

肖素艳 ;

胡维 ;

张永强 .

中国专利 :CN212843774U ,2021-03-30

[6]

一种MEMS热温差型气体流量传感器 [P].

刘同庆 .

中国专利 :CN220398640U ,2024-01-26

[7]

流量传感器及其制作方法 [P].

温赛赛 ;

张裕华 ;

汝俊 ;

李景明 .

中国专利 :CN119533590A ,2025-02-28

[8]

一种MEMS热式流量传感器及其制造方法 [P].

赵元富 ;

李光北 ;

张富强 ;

杨静 ;

孟美玉 ;

孙俊敏 .

中国专利 :CN104406644A ,2015-03-11

[9]

一种热式气体流量传感器及其制作方法 [P].

张绍达 ;

陈宇龙 ;

黄奇伟 .

中国专利 :CN104990607B ,2015-10-21

[10]

一种真空隔热的MEMS流量传感器及其制作方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN113029265A ,2021-06-25

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