一种基于回型沟道工艺的混合晶面SOI BiCMOS集成器件及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210244288.8

申请日：

2012-07-16

公开(公告)号：

CN102738160A

公开(公告)日：

2012-10-17

发明(设计)人：

胡辉勇宋建军张鹤鸣王斌吕懿宣荣喜舒斌郝跃

申请人：

申请人地址：

710065 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

H01L2706

IPC分类号：

H01L218249

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101471121968 IPC(主分类):H01L 27/06 专利申请号:2012102442888 申请日:20120716
2012-10-17	公开	公开
2021-07-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/06 申请日:20120716 授权公告日:20150819 终止日期:20200716
2015-08-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于应变Si回型沟道工艺的应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宋建军 ;

张鹤鸣 ;

李妤晨 ;

舒斌 ;

吕懿 ;

宣荣喜 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102723331B ,2012-10-10

[2]

一种双应变混合晶面SOI BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宋建军 ;

张鹤鸣 ;

宣荣喜 ;

吕懿 ;

周春宇 ;

舒斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102723335B ,2012-10-10

[3]

一种垂直沟道混合晶面应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宋建军 ;

张鹤鸣 ;

宣荣喜 ;

周春宇 ;

舒斌 ;

戴显英 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738154A ,2012-10-17

[4]

一种应变SiGe回型沟道SOI BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

宋建军 ;

胡辉勇 ;

周春宇 ;

吕懿 ;

张鹤鸣 ;

宣荣喜 ;

舒斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738173A ,2012-10-17

[5]

一种混合晶面垂直沟道Si基BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

宣荣喜 ;

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

吕懿 ;

舒斌 ;

王海栋 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102800680A ,2012-11-28

[6]

一种应变Si垂直沟道SOI BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

王斌 ;

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

王海栋 ;

宋建军 ;

舒斌 ;

宣荣喜 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102842584B ,2012-12-26

[7]

一种基于SOI衬底的BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

胡辉勇 ;

王海栋 ;

舒斌 ;

吕懿 ;

宣荣喜 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738175B ,2012-10-17

[8]

一种基于晶面选择的双多晶SOI BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

胡辉勇 ;

张鹤鸣 ;

周春宇 ;

宣荣喜 ;

宋建军 ;

吕懿 ;

舒斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102820296A ,2012-12-12

[9]

一种混合晶面三应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

宋建军 ;

王海栋 ;

周春宇 ;

胡辉勇 ;

宣荣喜 ;

舒斌 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102738166A ,2012-10-17

[10]

一种混合晶面垂直沟道应变BiCMOS集成器件及制备方法 [P].

张鹤鸣 ;

李妤晨 ;

胡辉勇 ;

吕懿 ;

宣荣喜 ;

舒斌 ;

宋建军 ;

郝跃 .

中国专利 :CN102723342B ,2012-10-10

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