一种纳米分辨率的应变测试设备及方法

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专利类型
发明
申请号
CN201710489585.1
申请日
2017-06-24
公开(公告)号
CN107091622A
公开(公告)日
2017-08-25
发明(设计)人
郑锦坚 郑清团 王星河 康俊勇
申请人
申请人地址
362343 福建省泉州市南安市石井镇郭前第二工业区
IPC主分类号
G01B1506
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种背景分辨率的测试方法及设备 [P]. 
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[2]
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[3]
空间分辨率的测试系统 [P]. 
吴金杰 ;
王鹏 ;
蒋伟 ;
周振杰 ;
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[4]
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芮加明 ;
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[5]
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[6]
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[7]
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孙文德 ;
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袁智 ;
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杨剑 ;
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[8]
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王文杰 ;
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刘永红 ;
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[9]
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兹沃尼米尔·Z·班迪克 ;
李瑞隆 ;
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[10]
一种增强光学掩模分辨率及制造高分辨率光学掩模的方法 [P]. 
龙世兵 ;
刘明 ;
陈宝钦 ;
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李友 ;
李新涛 ;
张建宏 ;
张卫红 ;
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谢文妞 .
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