一种单晶硅片烘干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120712352.5

申请日：

2021-04-08

公开(公告)号：

CN214501963U

公开(公告)日：

2021-10-26

发明(设计)人：

代刚贾涛赵富军

申请人：

申请人地址：

611200 四川省成都市崇州经济开发区同心路

IPC主分类号：

F26B1108

IPC分类号：

F26B2100 F26B2516

代理机构：

成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218

代理人：

詹权松

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

光善如 .

中国专利 :CN218155333U ,2022-12-27

[2]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218380329U ,2023-01-24

[3]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

何其金 ;

方艺霖 ;

何飞 ;

张靖 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN221005842U ,2024-05-24

[4]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

姜君 ;

李海林 ;

王中国 .

中国专利 :CN214842314U ,2021-11-23

[5]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

吕明 ;

郭城 ;

李充 ;

王永超 ;

石秀花 ;

王华 .

中国专利 :CN217423867U ,2022-09-13

[6]

单晶硅片烘干装置 [P].

杨剑波 ;

程帅 ;

詹治城 ;

纪光宇 ;

章兹多 .

中国专利 :CN220750744U ,2024-04-09

[7]

一种单晶硅片甩干烘干装置 [P].

王初林 .

中国专利 :CN214039205U ,2021-08-24

[8]

一种单晶硅片载具烘干装置 [P].

周磊 ;

段琳琳 .

中国专利 :CN222773653U ,2025-04-18

[9]

一种可用于单晶硅片的烘干装置 [P].

刘德超 ;

张娟宁 ;

齐成天 ;

张利升 ;

刘丽君 .

中国专利 :CN220601971U ,2024-03-15

[10]

一种节能高效的单晶硅片烘干装置 [P].

刘科 .

中国专利 :CN209840557U ,2019-12-24

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