单晶硅片烘干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322397560.2

申请日：

2023-09-05

公开(公告)号：

CN220750744U

公开(公告)日：

2024-04-09

发明(设计)人：

杨剑波程帅詹治城纪光宇章兹多

申请人：

晶科能源股份有限公司

申请人地址：

334199 江西省上饶市经济技术开发区迎宾大道1号

IPC主分类号：

F26B25/00

IPC分类号：

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

周治宇

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

光善如 .

中国专利 :CN218155333U ,2022-12-27

[2]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

陈子轩 ;

孔繁政 ;

陈亚男 .

中国专利 :CN218380329U ,2023-01-24

[3]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

何其金 ;

方艺霖 ;

何飞 ;

张靖 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN221005842U ,2024-05-24

[4]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

代刚 ;

贾涛 ;

赵富军 .

中国专利 :CN214501963U ,2021-10-26

[5]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

姜君 ;

李海林 ;

王中国 .

中国专利 :CN214842314U ,2021-11-23

[6]

一种单晶硅片烘干装置 [P].

吕明 ;

郭城 ;

李充 ;

王永超 ;

石秀花 ;

王华 .

中国专利 :CN217423867U ,2022-09-13

[7]

一种单晶硅片甩干烘干装置 [P].

王初林 .

中国专利 :CN214039205U ,2021-08-24

[8]

单晶硅片 [P].

沈浩平 ;

李建弘 ;

危晨 ;

刘涛 ;

赵越 .

中国专利 :CN306223259S ,2020-12-11

[9]

一种单晶硅片的清洗烘干装置 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN110841973A ,2020-02-28

[10]

一种单晶硅片载具烘干装置 [P].

周磊 ;

段琳琳 .

中国专利 :CN222773653U ,2025-04-18

← 1 2 3 4 5 →