用于纳米颗粒的光谱椭偏拟合方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610363881.2

申请日：

2016-05-26

公开(公告)号：

CN106092861B

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

贺涛王凯褚卫国张先锋

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村北一条11号

IPC主分类号：

G01N1510

IPC分类号：

G01N2121

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李相雨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690433703 IPC(主分类):G01N 15/10 专利申请号:2016103638812 申请日:20160526
2019-02-26	授权	授权
2016-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

光谱椭偏仪 [P].

吕彤欣 ;

王笑寒 .

中国专利 :CN101467306B ,2009-06-24

[2]

一种光谱椭偏装置和光谱椭偏测量系统 [P].

王瑜 ;

请求不公布姓名 ;

杨峰 ;

吕彤欣 .

中国专利 :CN220649786U ,2024-03-22

[3]

旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103163077A ,2013-06-19

[4]

一种用于光谱椭偏仪氧化铝薄膜校准方法 [P].

刘伟宝 .

中国专利 :CN119197345A ,2024-12-27

[5]

一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统的电机光谱仪同步方法 [P].

张传维 ;

史玉托 ;

李伟奇 ;

陈军 ;

郭春付 .

中国专利 :CN112345462B ,2021-02-09

[6]

一种带Mapping功能的光谱椭偏仪 [P].

姚凌飞 ;

田晶晶 ;

何丽 ;

陈志润 .

中国专利 :CN222259143U ,2024-12-27

[7]

一种可变入射角的光谱椭偏仪 [P].

陈星 ;

许岚 ;

计亚平 ;

冯泽舟 .

中国专利 :CN114910422A ,2022-08-16

[8]

一种适用于光谱椭偏仪的薄膜厚度初值测量方法 [P].

郭春付 ;

夏小荣 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

李竹 .

中国专利 :CN109470154A ,2019-03-15

[9]

激光椭偏仪的矫正方法 [P].

王榕 ;

简磊 ;

陈红 ;

辛体伟 ;

孟承启 ;

郭超 .

中国专利 :CN118031827A ,2024-05-14

[10]

一种光谱型椭偏仪椭偏角的校准方法 [P].

李锁印 ;

韩志国 ;

冯亚南 ;

梁法国 ;

赵琳 ;

许晓青 ;

吴爱华 .

中国专利 :CN106091952A ,2016-11-09

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