旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200510046899.1
申请日
2005-07-20
公开(公告)号
CN100480015C
公开(公告)日
2006-01-25
发明(设计)人
张革 李景春
申请人
申请人地址
110168辽宁省沈阳市浑南产业区世纪路1号A2101
IPC主分类号
B28D122
IPC分类号
B28D500 B28D112 B26D1547
代理机构
沈阳技联专利代理有限公司
代理人
张志刚
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
大尺寸碳化硅晶体生长装置 [P]. 
戚祖强 ;
肖锦先 ;
李海军 ;
卢万佳 ;
黄金平 ;
刘勇 ;
汪志超 .
中国专利 :CN209522952U ,2019-10-22
[2]
碳化硅晶体生长装置及大尺寸碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
燕靖 ;
陈俊宏 ;
李兆颖 ;
周来平 .
中国专利 :CN115142132B ,2024-03-19
[3]
碳化硅晶体生长装置及大尺寸碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
燕靖 ;
陈俊宏 ;
李兆颖 ;
周来平 .
中国专利 :CN115142132A ,2022-10-04
[4]
大尺寸碳化硅晶体生长装置 [P]. 
李远田 .
中国专利 :CN118422321A ,2024-08-02
[5]
一种大尺寸碳化硅晶体生长真空装置 [P]. 
张新峰 ;
王炜 .
中国专利 :CN211057277U ,2020-07-21
[6]
一种碳化硅晶体切割供液装置及碳化硅晶体切割工艺 [P]. 
王瑞 ;
梁庆瑞 ;
马立兴 ;
杨恒 ;
石志强 ;
隋晓明 ;
王凯 ;
王昆鹏 ;
安鹏飞 .
中国专利 :CN119388603A ,2025-02-07
[7]
碳化硅晶体的制造方法、碳化硅晶体及碳化硅晶体的制造装置 [P]. 
西口太郎 .
中国专利 :CN102471930A ,2012-05-23
[8]
制造高品质大尺寸碳化硅晶体的方法 [P]. 
A·鲍威尔 ;
V·F·采夫科夫 ;
M·布拉迪 ;
R·T·莱昂纳德 .
中国专利 :CN101072901A ,2007-11-14
[9]
碳化硅晶体的切割方法 [P]. 
牛晓龙 ;
杨昆 ;
路亚娟 ;
刘新辉 ;
董永洋 ;
周浩 .
中国专利 :CN113334592A ,2021-09-03
[10]
碳化硅晶体及碳化硅晶片 [P]. 
林钦山 .
中国专利 :CN117364247A ,2024-01-09