工件真空溅镀方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910305158.9

申请日：

2009-08-04

公开(公告)号：

CN101988186B

公开(公告)日：

2011-03-23

发明(设计)人：

陈杰良魏朝沧张庆州简士哲凌维成王仲培吴佳颖黄建豪洪新钦廖名扬蔡泰生裴绍凯

申请人：

申请人地址：

518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1454 C23C1456

代理机构：

代理人：

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-21	授权	授权
2020-07-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20090804 授权公告日:20130821 终止日期:20190804
2012-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101170309688 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:2009103051589 申请日:20090804
2015-09-16	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721072032 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2009103051589 变更事项:专利权人变更前权利人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司变更后权利人:深圳市鑫景源科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号变更后权利人:518000 广东省深圳市光明新区公明办事处李松萌社区第二工业区荣泰佳厂房五栋4楼变更事项:专利权人变更前权利人:鸿海精密工业股份有限公司变更后权利人:无登记生效日:20150828
2016-12-28	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744221718 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2009103051589 变更事项:专利权人变更前:深圳市鑫景源科技有限公司变更后:深圳鑫景源科技股份有限公司变更事项:地址变更前:518000 广东省深圳市光明新区公明办事处李松萌社区第二工业区荣泰佳厂房五栋4楼变更后:518000 广东省深圳市光明新区公明办事处李松萌社区第二工业区荣泰佳厂房五栋4楼
2011-03-23	公开	公开

共 50 条

[1]

真空溅镀偏压传导装置及真空溅镀设备 [P].

吴佳颖 .

中国专利 :CN102102180A ,2011-06-22

[2]

真空溅镀装置 [P].

青仓勇 ;

山西齐 ;

大西阳一 ;

池田种次郎 .

中国专利 :CN1109512A ,1995-10-04

[3]

真空溅镀工件输送机构 [P].

刘辛 .

中国专利 :CN202038669U ,2011-11-16

[4]

真空溅镀系统 [P].

郭金柱 ;

郑博仁 ;

黄泳钊 .

中国专利 :CN211227316U ,2020-08-11

[5]

连续式真空溅镀装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 .

中国专利 :CN201501926U ,2010-06-09

[6]

真空溅镀装置及其使用方法 [P].

张杰 ;

解毅 ;

何雅彬 ;

赵洪涛 ;

王喆 ;

马东 ;

吴奇昆 ;

沈瑜俊 ;

孙亭 .

中国专利 :CN102634766B ,2012-08-15

[7]

金属真空溅镀夹具 [P].

胡耀元 .

中国专利 :CN301243528S ,2010-06-02

[8]

塑料工件表面真空溅镀结合电泳涂装技术 [P].

郭雪梅 ;

吴政道 .

中国专利 :CN101376976A ,2009-03-04

[9]

塑料工件表面真空溅镀EMI薄膜结合电泳涂装方法 [P].

郭雪梅 ;

吴政道 .

中国专利 :CN101376972B ,2009-03-04

[10]

一种真空溅镀装置 [P].

余泽军 .

中国专利 :CN109055903A ,2018-12-21

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