真空溅镀装置及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210122427.X

申请日：

2012-04-24

公开(公告)号：

CN102634766B

公开(公告)日：

2012-08-15

发明(设计)人：

张杰解毅何雅彬赵洪涛王喆马东吴奇昆沈瑜俊孙亭

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583993350 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:201210122427X 申请日:20120424
2016-01-27	授权	授权
2014-05-07	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700636237 IPC(主分类):C23C 14/34 专利申请号:201210122427X 变更事项:申请人变更前权利人:上海宏力半导体制造有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20140411
2012-08-15	公开	公开

共 50 条

[1]

真空溅镀机的卷出装置及其使用方法 [P].

蔡水河 ;

陈伟勋 .

中国专利 :CN113684465A ,2021-11-23

[2]

真空溅镀装置 [P].

青仓勇 ;

山西齐 ;

大西阳一 ;

池田种次郎 .

中国专利 :CN1109512A ,1995-10-04

[3]

连续式真空溅镀装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 .

中国专利 :CN201501926U ,2010-06-09

[4]

真空溅镀偏压传导装置及真空溅镀设备 [P].

吴佳颖 .

中国专利 :CN102102180A ,2011-06-22

[5]

工件真空溅镀方法及装置 [P].

陈杰良 ;

魏朝沧 ;

张庆州 ;

简士哲 ;

凌维成 ;

王仲培 ;

吴佳颖 ;

黄建豪 ;

洪新钦 ;

廖名扬 ;

蔡泰生 ;

裴绍凯 .

中国专利 :CN101988186B ,2011-03-23

[6]

真空溅镀系统 [P].

郭金柱 ;

郑博仁 ;

黄泳钊 .

中国专利 :CN211227316U ,2020-08-11

[7]

承载台、真空蒸镀设备及其使用方法 [P].

吴海东 ;

马群 ;

金泰逵 .

中国专利 :CN104046945A ,2014-09-17

[8]

溅镀机真空腔抽真空装置 [P].

郭晓明 .

中国专利 :CN201209163Y ,2009-03-18

[9]

金属真空溅镀夹具 [P].

胡耀元 .

中国专利 :CN301243528S ,2010-06-02

[10]

一种真空溅镀装置 [P].

余泽军 .

中国专利 :CN109055903A ,2018-12-21

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