真空溅镀机的卷出装置及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111238089.1

申请日：

2021-10-25

公开(公告)号：

CN113684465A

公开(公告)日：

2021-11-23

发明(设计)人：

蔡水河陈伟勋

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市武进区潞横路2288号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1420 C23C1434

代理机构：

常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409

代理人：

朱丽莎

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20211025
2021-11-23	公开	公开

共 50 条

[1]

真空溅镀装置及其使用方法 [P].

张杰 ;

解毅 ;

何雅彬 ;

赵洪涛 ;

王喆 ;

马东 ;

吴奇昆 ;

沈瑜俊 ;

孙亭 .

中国专利 :CN102634766B ,2012-08-15

[2]

真空溅镀装置 [P].

青仓勇 ;

山西齐 ;

大西阳一 ;

池田种次郎 .

中国专利 :CN1109512A ,1995-10-04

[3]

真空溅镀机用的遮挡装置 [P].

蔡水河 ;

陈伟勋 .

中国专利 :CN114457313A ,2022-05-10

[4]

真空溅镀偏压传导装置及真空溅镀设备 [P].

吴佳颖 .

中国专利 :CN102102180A ,2011-06-22

[5]

真空溅镀机的阴极构造 [P].

刘辛 .

中国专利 :CN201301337Y ,2009-09-02

[6]

工件真空溅镀方法及装置 [P].

陈杰良 ;

魏朝沧 ;

张庆州 ;

简士哲 ;

凌维成 ;

王仲培 ;

吴佳颖 ;

黄建豪 ;

洪新钦 ;

廖名扬 ;

蔡泰生 ;

裴绍凯 .

中国专利 :CN101988186B ,2011-03-23

[7]

真空溅镀系统的阴极装置 [P].

方振籛 ;

郭金柱 ;

郑博仁 ;

黄泳钊 .

中国专利 :CN208632635U ,2019-03-22

[8]

一种溅镀机及其溅镀工艺 [P].

林行 ;

葛健国 ;

吕育仁 ;

范小荣 ;

朱育民 ;

庄胜智 .

中国专利 :CN110819947A ,2020-02-21

[9]

连续式真空溅镀装置 [P].

黄泳钊 ;

郑博仁 .

中国专利 :CN201501926U ,2010-06-09

[10]

一种用于真空溅镀的溅镀靶 [P].

郑志铭 .

中国专利 :CN202705455U ,2013-01-30

← 1 2 3 4 5 →