悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310345238.3
申请日
2011-11-21
公开(公告)号
CN103409108B
公开(公告)日
2013-11-27
发明(设计)人
岩野友洋
申请人
申请人地址
日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号
IPC主分类号
C09K314
IPC分类号
C09G102
代理机构
上海市华诚律师事务所 31210
代理人
杜娟
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P]. 
岩野友洋 .
中国专利 :CN103222036A ,2013-07-24
[2]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P]. 
岩野友洋 ;
成田武宪 ;
龙崎大介 .
中国专利 :CN103222035A ,2013-07-24
[3]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P]. 
岩野友洋 ;
成田武宪 ;
龙崎大介 .
中国专利 :CN103497732A ,2014-01-08
[4]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P]. 
岩野友洋 ;
成田武宪 ;
龙崎大介 .
中国专利 :CN103500706A ,2014-01-08
[5]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基板的研磨方法及基板 [P]. 
岩野友洋 ;
成田武宪 ;
龙崎大介 .
中国专利 :CN103497733B ,2014-01-08
[6]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P]. 
岩野友洋 ;
南久贵 ;
阿久津利明 ;
藤崎耕司 .
中国专利 :CN104334675A ,2015-02-04
[7]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P]. 
岩野友洋 ;
南久贵 ;
阿久津利明 ;
藤崎耕司 .
中国专利 :CN104321852A ,2015-01-28
[8]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P]. 
岩野友洋 ;
南久贵 ;
阿久津利明 ;
藤崎耕司 .
中国专利 :CN104335331A ,2015-02-04
[9]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液、基体的研磨方法及基体 [P]. 
岩野友洋 ;
南久贵 ;
阿久津利明 ;
藤崎耕司 .
中国专利 :CN104321854B ,2015-01-28
[10]
悬浮液、研磨液套剂、研磨液以及使用它们的基板的研磨方法 [P]. 
岩野友洋 ;
秋元启孝 ;
成田武宪 ;
木村忠广 ;
龙崎大介 .
中国专利 :CN102666014A ,2012-09-12