双面图形位置相对偏差的测量设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610850650.4

申请日：

2016-09-26

公开(公告)号：

CN106370105A

公开(公告)日：

2017-02-01

发明(设计)人：

胡茂尚徐登峰

申请人：

申请人地址：

215316 江苏省苏州市昆山市玉山镇寰庆路2980号中节能（昆山）循环经济产业园31号楼

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260

代理人：

张欢勇

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/00 申请公布日:20170201
2017-02-01	公开	公开
2017-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705809338 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:2016108506504 申请日:20160926

共 50 条

[1]

双面图形位置相对偏差的测量设备 [P].

胡茂尚 ;

徐登峰 .

中国专利 :CN206095153U ,2017-04-12

[2]

电机转轴位置偏差测量装置 [P].

陈宏奇 ;

康燕 ;

王长恺 ;

赵伟威 .

中国专利 :CN209085573U ,2019-07-09

[3]

位置偏差修正装置,控制位置偏差的方法,以及图像形成设备 [P].

池田博昭 .

中国专利 :CN101105667A ,2008-01-16

[4]

曲轴油孔位置偏差值测量装置 [P].

刘海生 .

中国专利 :CN205448875U ,2016-08-10

[5]

一种光学测量位置偏差测量装置 [P].

黄智强 .

中国专利 :CN119803303A ,2025-04-11

[6]

光刻版图形位置偏差检查方法 [P].

黄玮 .

中国专利 :CN102540735A ,2012-07-04

[7]

一种修正光掩模图形位置偏差的设备及方法 [P].

郑怀志 ;

施维 .

中国专利 :CN115494695B ,2024-08-06

[8]

一种修正光掩模图形位置偏差的设备及方法 [P].

郑怀志 ;

施维 .

中国专利 :CN115494695A ,2022-12-20

[9]

用于测量绝对位置的位置测量设备 [P].

彼德·费舍尔 ;

曼弗雷德·赫茨 ;

克里斯蒂安·克勒 ;

克里斯蒂安·瓦赫特 ;

哈特穆特·舍纳 .

中国专利 :CN113366282A ,2021-09-07

[10]

空心圆形套管中心位置偏差测量装置 [P].

罗琛 ;

侯家兴 .

中国专利 :CN201688820U ,2010-12-29

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